Se resolvió una detección errónea del fotosensor en un entorno de alto vacío.
Industria de semiconductores
Fabricante de equipos para la fabricación de semiconductores que diseña dispositivos de deposición al vacío para fabricar semiconductores para paneles fotovoltaicos.
Un representante del departamento de diseño de componentes de detección de sustratos nos preguntó sobre el "posicionamiento" de sustratos de vidrio en un entorno de vacío.
Mesa de contenido
Problemas del cliente
El "sensor fotoeléctrico" se ha utilizado para detectar la presencia de un sustrato de vidrio dentro de la cámara de vacío; sin embargo, se produjeron algunos problemas debido a la presencia de numerosas detecciones falsas causadas por el empañamiento del visor durante la evaporación.
Además, había otro problema: la propia ventana de visualización está fabricada con un proceso de mecanizado costoso.
El cliente consultó con los principales fabricantes de sensores y probó un fotosensor de alto rendimiento; sin embargo, su uso no permite evitar las detecciones falsas.
La visita a nuestro stand en la "Exposición al Vacío " de tecnologías de moldeo animó al cliente a conocer nuestros interruptores y a ponerse en contacto con nosotros.
El enfoque principal de los problemas
Colocación del sustrato de vidrio en un entorno de vacío.
El empañamiento de una ventana de visualización durante la evaporación provoca una detección errónea en el sensor fotográfico.
La mirilla está fabricada con un proceso de mecanizado costoso.
Sugerencias de Metrol
Debido a que el "sensor fotoeléctrico" convencional detecta las piezas mediante el reflejo de la luz emitida, está sujeto a condiciones externas como la niebla, las gotas de agua y los reflejos difusos, etc., lo que provoca detecciones falsas de forma constante.
La mayoría de los ingenieros asumen que "un sensor es inútil en un entorno de vacío".
El interruptor de Metrol, compatible con la clase de alto vacío, es un interruptor de posicionamiento mecánico de precisión fabricado únicamente con piezas compatibles con baja emisión de gases y sin sustrato eléctrico.
El interruptor es compatible con un alto nivel de vacío de hasta 10^-5 Pa y es capaz de detectar de forma segura el sustrato de vidrio incluso en un entorno de alto vacío.
Personalizamos la fuerza de contacto del interruptor a 0,5 N o menos y el material de la punta a una resina especial, respectivamente, para que no haya riesgo de rayar el sustrato de vidrio sensible.
mejoras
Realización del posicionamiento de la oblea en un entorno de alto vacío de 10^-5 Pa.
No se producen falsos positivos al contactar directamente con la oblea.
Se elimina la necesidad de la ventana de visualización y se reduce significativamente el coste de mecanizado.
Comentario de un representante de Metrol
Debido a que los puntos de señal de los fotosensores, como el "sensor fotoeléctrico" y el "sensor de fibra óptica", son invisibles, el ajuste de la instalación ha llevado más de dos días.
Dado que los puntos de señalización del interruptor de posicionamiento de precisión de tipo contacto de Metrol son visibles, las posiciones de instalación se pueden especificar en el CAD durante el diseño.
En la industria de los semiconductores, contamos con numerosas experiencias previas de adopción, también en lo que respecta al posicionamiento dentro de dispositivos de vacío como "dispositivo de pulverización catódica", "dispositivo de evaporación EL orgánica", "grabador" y "portadores de obleas", etc.
Si tiene algún problema para posicionar o detectar la presencia en un entorno de vacío, no dude en ponerse en contacto con Metrol.
Esperamos tener noticias suyas sobre la preparación de nuestras muestras para la evaluación.
Para obtener más información sobre los productos utilizados en esta aplicación
Interruptores de alta resistencia al vacío
¡Se ha solucionado una detección errónea del fotosensor en un entorno de vacío!
